傳統的機械加工方法(普通加工)與精密和超精密加工方法一樣。隨著(zhù)新技術(shù)、新工藝、新設備以及新的測試技術(shù)和儀器的采用,其加工精度都在不斷地提高。
加工精度的不斷提高,反映了加工工件時(shí)材料的分割水平不斷由宏觀(guān)進(jìn)入微觀(guān)世界的發(fā)展趨勢。隨著(zhù)時(shí)間的進(jìn)展,原來(lái)認為是難以達到的加工精度會(huì )變得相對容易。因此,普通加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對概念?其間的界限隨著(zhù)時(shí)間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工的典型代表是金剛石切削。
以金剛石切削為例。其刀刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發(fā)展。因為它的大小直接影響到被加工表面的粗糙度,與光學(xué)鏡面的反射率直接有關(guān),對儀器設備的反射率要求越來(lái)越高。如激光陀螺反射鏡的反射率已提出要達到99.99%,這就必然要求金剛石刀具更加鋒利。為了進(jìn)行切極薄試驗,目標是達到切屑厚度nm,其刀具刃口圓弧半徑應趨近2.4nm。為了達到這個(gè)高度,促使金剛石研磨機改變了傳統的結構。其中主軸軸承采用了空氣軸承作為支承,研磨盤(pán)的端面跳動(dòng)可在機床上自行修正,使其端面跳動(dòng)控制在0.5μm以下。
刀具方面,采用金剛石砂輪,控制背吃刀量和進(jìn)給量,在超精密磨床上,可以進(jìn)行延性方式磨削,即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長(cháng)遠發(fā)展的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看,制造技術(shù)是當前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟的主攻方向和戰略決策,是一個(gè)國家經(jīng)濟發(fā)展的重要手段之一,同時(shí)又是一個(gè)國家獨立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟上持續穩定發(fā)展、科技上保持領(lǐng)先的長(cháng)遠大計??萍嫉陌l(fā)展對精密加工和超精密加工技術(shù)也提出了更高的要求。從大到天體望遠鏡的透鏡,小到大規模集成電路線(xiàn)寬μm要求的微細工程和微機械的微納米尺寸零件,不論體積大小,其最高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復雜化,各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機械技術(shù)為超精密制造技術(shù)引來(lái)一種嶄新的態(tài)勢?它的微細程度使傳統的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰,促進(jìn)了各種產(chǎn)品技術(shù)性能的提高,發(fā)展過(guò)程呈現出螺旋式循環(huán)發(fā)展,直接對科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和人類(lèi)文明作出貢獻。對產(chǎn)品高質(zhì)量、小型化、高可靠性和高性能的追求,使超精密加工技術(shù)得以迅速發(fā)展,現已成為現代制造工業(yè)的重要組成部分